核心特點(diǎn)：

• 高精度校正

• 自動(dòng)化工藝

• 無需熱調(diào)諧

• 提升節(jié)能效果

核心優(yōu)勢(shì)：

• 提高生產(chǎn)良率

• 提升整體吞吐量

• 降低功耗

• 提高元件可持續(xù)性

我們的工藝開發(fā)專長(zhǎng)

我們?cè)O(shè)有專門的應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室，配備不同的移動(dòng)平臺(tái)和計(jì)量設(shè)備，旨在我們的場(chǎng)地內(nèi)全面測(cè)試并展示目標(biāo)應(yīng)用。這些實(shí)驗(yàn)室旨在模擬真實(shí)世界條件，使我們能夠評(píng)估性能、完善解決方案，并有效展示該應(yīng)用如何滿足特定需求。

我們與客戶合作，通過集成我們的激光解決方案來優(yōu)化他們的制造工藝。我們的專業(yè)能力確保無縫集成，提高效率，并解決特定的運(yùn)營(yíng)挑戰(zhàn)。

光子集成的增長(zhǎng)悖論

幾十年來，業(yè)界一直預(yù)期光子學(xué)將遵循與電子學(xué)類似的規(guī)模增長(zhǎng)軌跡。然而，盡管光子集成電路（PICs）已在電信、數(shù)據(jù)中心和傳感領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了突破，但其發(fā)展卻因其高昂的成本而受到嚴(yán)重阻礙。與電子學(xué)不同，在電子學(xué)領(lǐng)域，摩爾定律持續(xù)推動(dòng)著小型化和效率的極限，而光子學(xué)則面臨著不同但根本性的挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)包括制造偏差、復(fù)雜的材料相互作用以及大規(guī)模量產(chǎn)優(yōu)質(zhì)無源結(jié)構(gòu)（如 M2、M8B、耦合器等）的困難。盡管存在這些挑戰(zhàn)，設(shè)計(jì)、制造和工藝優(yōu)化方面的進(jìn)步仍在持續(xù)推動(dòng)該領(lǐng)域的進(jìn)展。光子產(chǎn)業(yè)正在開發(fā)新一代收發(fā)器，目標(biāo)是每 2-3 年速率翻倍，同時(shí)努力降低 PIC 的總成本。

晶圓性能偏差：待克服的挑戰(zhàn)

光子制造，尤其是在晶圓和芯片級(jí)別，帶來了直接影響良率、效率和上市時(shí)間的獨(dú)特挑戰(zhàn)：

低良率— 光刻、蝕刻中的納米級(jí)尺寸偏差導(dǎo)致顯著的性能差異。因此，在晶圓級(jí)測(cè)試中，PIC 芯片的良率在業(yè)內(nèi)通常在 50-90% 范圍內(nèi)，并且隨著電路復(fù)雜度的增加，這一趨勢(shì)將持續(xù)。

更復(fù)雜的設(shè)計(jì) — 隨著設(shè)計(jì)變得更加復(fù)雜，缺陷率上升，整體良率降低。由于工藝可變性增大，制造效率下降，需要更嚴(yán)格的控制和先進(jìn)的制造技術(shù)。添加熱移相器可以減少這些偏差，但需要額外的芯片空間，從而增加了有源電控制的成本和復(fù)雜性。更大更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)會(huì)延長(zhǎng)熱循環(huán)時(shí)間，拖慢原型制作和測(cè)試速度，進(jìn)而延遲上市時(shí)間。

功耗問題 — 熱移相器作為應(yīng)對(duì)工藝偏差的標(biāo)準(zhǔn)調(diào)諧方法，在運(yùn)行期間為調(diào)節(jié)和維持相位消耗過多能量。這種低效性限制了光子系統(tǒng)的可擴(kuò)展性。

解決方案：光子微調(diào)

我們推出了一種創(chuàng)新的激光微調(diào)解決方案，專為光子晶圓的精確需求而定制。我們專有的光纖激光技術(shù)能夠在波導(dǎo)層級(jí)直接實(shí)現(xiàn)高精度的永久性修正。該激光解決方案包括激光源、帶在線視覺系統(tǒng)的激光頭以及先進(jìn)的控制軟件。該解決方案也可改裝接入標(biāo)準(zhǔn)的微米級(jí)測(cè)試站，F(xiàn)iconTEC 是我們首個(gè)設(shè)計(jì)導(dǎo)入案例。設(shè)計(jì)中所有元素都針對(duì)高精度、穩(wěn)健性、大視場(chǎng)和操作簡(jiǎn)便性進(jìn)行了優(yōu)化，確保與現(xiàn)有制造工藝的無縫集成。此外，這種非侵入性技術(shù)最大程度地減少了光學(xué)損耗，

同時(shí)保持了光子集成電路（PICs）的完整性和性能。

激光微調(diào)的作用

激光微調(diào)工藝涉及圖形識(shí)別、無需電探測(cè)的主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)以及光學(xué)測(cè)量，以確保電路的最佳性能。

應(yīng)用領(lǐng)域：

• 平衡馬赫-曾德爾調(diào)制器 (MZM) 臂長(zhǎng)

• 微調(diào)環(huán)形諧振器頻率

• 校正相位誤差

• 均衡多路復(fù)用器/解復(fù)用器通道

• 補(bǔ)償制造偏差

目標(biāo)用戶

• 光子集成電路（PIC）設(shè)計(jì)師

• 光子晶圓廠 / 代工廠

• 集成器件制造商

• 使用 PIC 的模塊和系統(tǒng)公司